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半导体行业检测
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内容概述
半导体制造行业对于金属污染物、洁净室AMC污染物等都有与企业自身相对应管控要求。晶圆、衬底、电子化学品、电子特气、半导体设备等各个环节的制造过程都需要对各类污染物进行检测。对于半导体制造行业的金属污染物、洁净室AMC污染物的检测,以及有毒有害气体报警等,谱育科技推出了一系列的解决方案,以及与之相对应的高精度检测仪器和在线系统。

半导体行业痕量、超痕量金属污染检测

半导体产品在制造过程中,金属污染会对制程良率造成极大的影响。在整个半导体产业链中,从衬底、化学品、特气等半导体材料的制造,到晶圆的加工,都对金属污染有着严格的管控要求。

谱育科技针对半导体行业各个环节的金属污染检测,推出了一系列解决方案以及相关产品,可以满足各类半导体用户对金属污染的相关检测需求,为中国半导体产业贡献出自己的一份力量。


半导体AMC在线监测解决方案

AMC是危害半导体生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质。AMC会在半导体制造的栅底氧化、薄膜、硅化物和多晶硅形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上造成各种危害,影响产品质量,是半导体制造面临的越来越严重的问题,也是生产环境控制中亟待解决的问题。随着半导体制造技术的发展,对AMC的控制标准将越来越严格。

谱育科技针对半导体行业对洁净室AMC管控要求,推出了一系列解决方案以及相对应的离线、在线检测设备。为解决国内半导体企业洁净室AMC环境管控难题贡献出一份力量。


半导体近红外检测仪

随着大型半导体器件成为电子消费者的选择,在制造半导体装置的过程中使用的溶剂量已大大增加,因此需有效使用溶剂以优化器件制造工艺。同时在蚀刻剂的再生过程中,也需实时分析蚀刻剂的成分以再生均匀组成的蚀刻剂。由于蚀刻剂的每种成分都有其特征性的光吸收波长,基于近红外光谱仪的分析技术是最近开发的实时分析技术之一。

谱育科技可以提供完整的半导体分析解决方案,涵盖了从湿法刻蚀清洗和光阻去除等工艺过程控制,实现半导体制造过程的快速、实时分析蚀刻剂的各种成分,加快处理速度并达到改善质量控制的目的。


GDM-2100  Series特气检测仪

半导体行业在芯片制造过程(扩散、沉积、刻蚀等)中会使用到各种易燃易爆、有毒有害的电子特气,常见的电子气体包括了可燃气体、硅烷、磷烷、锗烷、氨气、氯气、氰化氢、磷化氢、氯化氢等气体;这些特气在使用过程有出现泄漏的可能性,可燃气体发生泄漏可能会引起爆炸事故,有毒有害气体泄漏则会对人产生直接的影响,造成人员中毒甚至直接威胁人员的生命安全。

因此,半导体行业在芯片的生产、制造过程中需要安装特气检测仪,来对这些特殊气体进行泄漏监测和预警,一旦检测到气体浓度超标,则发出声光报警提醒工作人员。




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